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產(chǎn)品詳情
低電壓,低束流下的超快速測(cè)量: 高生產(chǎn)率和高分辨率
eWARP具有更高的信號(hào)檢測(cè)靈敏度,僅需要較低的加速電壓和束流,例如10 kV加速電壓和12 nA的束流,就可以達(dá)到每秒14,400個(gè)花樣的最大檢測(cè)速度,并且在這樣的電子束條件下可以得到足夠高的花樣質(zhì)量,使用ESPRIT軟件進(jìn)行分析時(shí)標(biāo)定率可以超過(guò)99%。
和在20 kV下獲得的傳統(tǒng)EBSD圖相比,由于加速電壓的降低,可以使其空間分辨率提高兩倍。換言之,eWARP能夠以至少25nm的分辨率和很好的花樣標(biāo)定率在很快的速度下采集EBSD分布圖。
eWARP令人難以置信的速度和更好的空間分辨率將對(duì)很多EBSD的主要應(yīng)用場(chǎng)景產(chǎn)生重大影響,特別是大面積檢測(cè)、3D EBSD和原位動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)等方面具有突破性的進(jìn)展。

10 kV 將成為新的常規(guī)測(cè)試條件: 更好的統(tǒng)計(jì)性和空間分辨率
eWARP具有更高的信號(hào)檢測(cè)靈敏度,在低加速電壓EBSD檢測(cè)下具有特殊的優(yōu)勢(shì),因而在空間分辨率和標(biāo)定質(zhì)量方面取得了新的的進(jìn)步,這使得EBSD能夠在以前很困難甚至無(wú)法涉入的材料應(yīng)用領(lǐng)域中有突破并且得到更好的結(jié)果。
電池材料研發(fā)和生產(chǎn)是一個(gè)新興領(lǐng)域,EBSD在該領(lǐng)域中也顯示出了巨大的應(yīng)用前景。晶粒尺寸、形狀以及大角度晶界的比例等會(huì)影響電池的一些相關(guān)性能,如電池容量、充電速度、壽命和安全性。
圖4展示了鋰鎳鈷錳(NCM)電池的大面積取向分布圖,圖中包含了約12,000顆尺寸很小的晶粒。圖4中提取的部分給出了其中一個(gè)NCM粒子的精細(xì)微觀結(jié)構(gòu)。

20 nm 步長(zhǎng): 高難度的超細(xì)晶粒材料檢測(cè)
10 kV EBSD在表征鋼和鈦合金中的馬氏體結(jié)構(gòu)時(shí)優(yōu)勢(shì)尤為明顯。更低的加速電壓使電子束與樣品的相互作用體積更小,提高了空間分辨率和菊池花樣的對(duì)比度,可以得到更多的菊池帶,使標(biāo)定率更好,從而得到質(zhì)量更高的檢測(cè)數(shù)據(jù),這對(duì)于EBSD的檢測(cè)結(jié)果與材料的相關(guān)性能分析至關(guān)重要。
圖5展示了通過(guò)常規(guī)機(jī)械拋光方法制備的馬氏體不銹鋼樣品的EBSD檢測(cè)數(shù)據(jù)?;淤|(zhì)量圖(上)顯示了典型的馬氏體板條結(jié)構(gòu),步長(zhǎng)20納米。相應(yīng)的晶體取向圖(下)清楚地顯示了未經(jīng)降噪處理的原始數(shù)據(jù)就具有很高的標(biāo)定率。




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